Сублимация в ближнем космосе - Close-space sublimation

Сублимация замкнутого пространства это метод производства тонких пленок, особенно. фотогальваника с теллуридом кадмия, хотя он используется для других материалов, таких как триселенид сурьмы.[1]

Схема, показывающая принцип работы CSS

Это тип физическое осаждение из паровой фазы где покрываемый субстрат и исходный материал удерживаются близко друг к другу. Они оба помещены в вакуумную камеру, которую откачивают. Затем источник и подложка нагреваются. Источник нагревается до некоторой доли от его температуры плавления, а подложка - до некоторой более низкой температуры, например 750 ° C и 550 ° C соответственно.[нужна цитата ] Это вызывает сублимацию источника, позволяя парам перемещаться на небольшое расстояние к подложке, где они конденсируются, образуя тонкую пленку. Эта кратковременная диффузия в принципе аналогична кратковременная перегонка. По сравнению с другими методами, это относительно малочувствительный процесс, который занимает всего 10 минут на весь цикл.[нужна цитата ] Это делает его очень жизнеспособным методом для крупномасштабного производства.[2]

Рекомендации

  1. ^ Биркетт, Макс; Линхарт, Войцех; Стоунер, Джессика; Филлипс, Лори (24 мая 2018 г.). "Температурная зависимость запрещенной зоны Sb2Se3, выращенного методом фотоотражения с помощью сублимации в ближнем пространстве". Материалы APL. 6 (8): 084901. Дои:10.1063/1.5027157.
  2. ^ Potamialis, C .; Лиско, Ф. «Изготовление тонких пленок CdTe методом сублимации в закрытом пространстве» (PDF). Центр докторантуры Новая и устойчивая фотоэлектрическая энергия. Центр технологий возобновляемых источников энергии (CREST), Школа Вольфсона, Университет Лафборо. Получено 26 апреля 2019.