Этилендиамин пирокатехол - Ethylenediamine pyrocatechol

Этилендиамин пирокатехол (EDP), также известный как этилендиамин-пирокатехин-вода (EPW), является анизотропный раствор травителя для кремний. Типичный состав состоит из этилендиамин, пирокатехол, пиразин и вода. Он канцерогенный и очень едкий. Он в основном используется в исследовательских лабораториях и не используется в основных процессах производства полупроводников.

Рекомендации