Детектор Эверхарта-Торнли - Everhart-Thornley detector

В Детектор Эверхарта-Торнли (Детектор E-T или же Детектор ET) это вторичный электрон и обратно рассеянный электрон детектор используется в растровые электронные микроскопы (SEM). Он назван в честь своих дизайнеров, Томас Э. Эверхарт и Ричард Ф. М. Торнли которые в 1960 году опубликовали свой проект повышения эффективности существующих детекторов вторичных электронов путем добавления световода для передачи сигнала фотона от сцинтиллятора внутри камеры для откачанного образца SEM в камеру фотоумножитель вне камеры.[1] До этого Эверхарт улучшил дизайн для обнаружения вторичных электронов путем Владимир Зворыкин и Ян А. Райчман заменив электронный умножитель на фотоумножитель. Детектор Эверхарта-Торнли со световодом и высокоэффективным фотоумножителем является наиболее часто используемым детектором в SEM.

Детектор состоит в основном из сцинтиллятор внутри Клетка Фарадея внутри камеры для образцов микроскопа. Низкий положительный Напряжение применяется к клетке Фарадея для привлечения относительно низкой энергии (менее 50 эВ по определению) вторичные электроны. Другие электроны в камере с образцом не притягиваются этим низким напряжением и достигают детектора только в том случае, если их направление движения приводит их к нему. Сцинтиллятор имеет высокое положительное напряжение (по природе 10000 В) для ускорения поступающих к нему электронов, где они могут быть преобразованы в световые фотоны.[2] Направление их движения направлено на световод металлическим покрытием сцинтиллятора, действующего как зеркало. В световоде фотоны выходят за пределы вакуумной камеры микроскопа к фотоумножителю для усиления.

Детектор вторичных электронов E-T может использоваться в режиме обратного рассеяния электронов SEM, отключив клетку Фарадея или подав отрицательное напряжение на клетку Фарадея. Однако более качественные изображения в отраженных электронах получают от специализированных детекторов BSE, а не от использования детектора E-T в качестве детектора BSE.

Рекомендации

  1. ^ Эверхарт, TE и RFM Thornley (1960). «Широкополосный детектор микро-микроамперных токов низкоэнергетических электронов» (PDF). Журнал научных инструментов. 37 (7): 246–248. Bibcode:1960JScI ... 37..246E. Дои:10.1088/0950-7671/37/7/307.
  2. ^ Гольдштейн, Джозеф (2018). Сканирующая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Ньюбери, Дейл Э., Майкл, Джозеф Р., Ричи, Николас В. М., Скотт, Джон Генри Дж., Джой, Дэвид С. (Четвертое изд.). Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: Спрингер. С. 115–116. ISBN  978-1-4939-6676-9. OCLC  1013460027.