Автоэмиссионная пушка - Field emission gun

Источник электронов с эмиттером Шоттки Электронный микроскоп

А автоэмиссионная пушка (FEG) является разновидностью электронная пушка в котором резко заостренный тип Мюллера[требуется разъяснение ] излучатель[1](pp87-128) проводится в нескольких киловольты отрицательный потенциал относительно ближайшего электрод, так что имеется достаточный потенциал градиент на поверхности эмиттера вызвать полевая электронная эмиссия. Излучатели бывают с холодным катодом тип, обычно из монокристалла вольфрам заостренный до радиуса острия около 100 нм, или Шоттки тип,[1](pp1-28) в котором термоэлектронная эмиссия усиливается за счет снижения барьера при наличии высокого электрическое поле. Излучатели Шоттки изготавливаются путем покрытия вольфрамового наконечника слоем оксид циркония (ZrO), уменьшая рабочая функция наконечника примерно на 2,7 эВ.[2]

В электронные микроскопы, автоэмиссионная пушка используется для получения электронного пучка меньшего диаметра, более последовательный и до трех порядков больше плотность тока или же яркость чем можно достичь с помощью обычных термоэмиттеры такие как вольфрам или гексаборид лантана (ЛаБ
6) с наконечником нити. Результат как сканирование и просвечивающая электронная микроскопия значительно улучшен соотношение сигнал шум и Пространственное разрешение, а также значительно увеличили срок службы и надежность эмиттера по сравнению с термоэмиссионными устройствами.

Рекомендации

  1. ^ а б Орлофф, Джон, изд. (24 октября 2008 г.). «Источники ионизации газовых месторождений». Справочник по оптике заряженных частиц (2-е изд.). CRC Press. ISBN  978-1420045543. LCCN  2008013026. OCLC  778264838. ПР  11816479M.
  2. ^ "Ключевые слова | Глоссарий терминов TEM | JEOL". www.jeol.co.jp.