Lely метод - Lely method - Wikipedia

Схема модифицированного метода Lely, показывающая графитовый тигель, окруженный индукционными катушками для нагрева. Карбид кремния обвинять сублимируется со дна камеры и оседает на верхней крышке, которая является более прохладной.

В Lely метод или же Lely процесс это рост кристаллов технология, используемая для производства Карбид кремния кристаллы для полупроводник промышленность. Патент на этот процесс был подан в Нидерландах в 1954 году и в США в 1955 году Яном Энтони Лели из Philips Electronics.[1] Впоследствии патент был выдан 30 сентября 1958 г. и был доработан Д. Гамильтон и др. в 1960 г., В. Новиков, В.И. Ионовым в 1968 году.[2]

Обзор

Метод Лели производит объемные кристаллы карбида кремния в процессе сублимация. Порошок карбида кремния загружается в графит тигель, который продувается газообразным аргоном и нагревается примерно до 2500 ° C (4530 ° F). Карбид кремния у внешних стенок тигля сублимируется и становится депонированный на графитовом стержне около центра тигля, температура которого ниже.[2]

Существует несколько модифицированных версий метода Лели, чаще всего карбид кремния нагревается с нижнего конца, а не со стенок тигля, и наносится на крышку. Другие модификации включают изменение температуры, температурный градиент, Давление аргона и геометрия системы. Обычно индукционная печь используется для достижения требуемых температур 1 800–2 600 ° C (3 270–4 710 ° F).[2]:195

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ US2854364 (А), Lely, Ян Энтони, "Процесс сублимации для изготовления кристаллов карбида кремния", опубликовано 7 марта 1955 г., опубликовано 30 сентября 1958 г. 
  2. ^ а б c Бираппа, Куллайя; Охачи, Тадаши (2003). Технология выращивания кристаллов. Springer Science & Business Media. ISBN  9783540003670. Получено 10 сентября 2018.