Список заводов MEMS - List of MEMS foundries
В приведенном ниже списке представлен исчерпывающий обзор компаний, которые разрабатывают и производят МЭМС (микроэлектромеханические системы) устройства. Эти компании обычно относят к понятию литейные заводы. Предложение компаний варьируется в зависимости от используемого материала, объема производства и размера пластин, используемых для изготовления.
| Компания | обслуживание | Материалы основания | Объем производства | Диаметр пластин (в дюймах) | Тип | Страна со штаб-квартирой
| |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Asia Pacific Microsystems, Inc. | Литейный цех MEMS | Кремний, Сапфир, КНИ, Стекло, Кварц, Полимер, КМОП-пластины | Производство в больших объемах | 6 | Чистая игра |  Тайвань | |
| Bosch | Разработка и производство индивидуальных процессов MEMS. Дополнительно: проектирование, сборка, тестирование, интеграция | Кремний, КНИ, плавленый кварц или стекло, постобработка на 200-мм КМОП пластинах | Прототипирование, разработка, средний и большой объем | 6, 8 | IDM |  Германия | |
| CEA-LETI | Индивидуальные МЭМС, НЭМС, БиоМЭМС: дизайн, процесс, производство, характеристика и упаковка | Кремний, КНИ, стекло и КМОП-пластины. | Периодические партии НИОКР и пилотная линия | 8, 12 | Чистая игра |  Франция | |
| Швейцарский центр электроники и микротехники | Дизайн MEMS и разработка процессов, подход от лаборатории до фабрики. Основные области включают фотонику, микрофлюидику, компоненты часов и суровые условия окружающей среды. | Кремний, КНИ, плавленый кварц, стекло и нестандартные подложки | Прототипирование, производство малых и средних объемов | 6 | Чистая игра |  Швейцария | |
| Hanking Electronics | Услуги литейного производства MEMS класса 100, IMU MEMS (акселерометры / гироскопы с 6 степенями свободы), модули IoT и услуги проектирования MEMS. Литейные процессы включают: Осаждение пленки, осаждение металла, термическое соединение, склеивание пластин, процессы травления, включая DRIE и VHF, мокрые процессы и упаковку на уровне пластин. | Кремний | Производство в больших объемах | 8 | IDM |  Китай | |
| Honeywell | Производство и проектирование МЭМС | Кремний | Производство в больших объемах | 4, 6 | IDM |  Соединенные Штаты | |
| IMEC | Производство МЭМС малых и средних объемов (совместимых с КМОП), в т.ч. индивидуальный дизайн, разработка, постобработка и прототипирование | Si, SOI, плавленый кварц или стекло; постобработка на пластинах CMOS (от 8 до 12 дюймов) | Изготовление прототипов, производство малых и средних объемов; передача в литейный цех для больших объемов | 8, 12 | Чистая игра |  Бельгия | |
| Инновационные микротехнологии | Производство МЭМС, биочипов и фотоники, включая индивидуальный дизайн, разработку, прототипирование и крупносерийное производство | Кремний, КНИ, боросиликат, плавленый кремнезем, кварц, стекло, пьезо и инженерные подложки | Производство в больших объемах | 6, 8 | Чистая игра | Соединенные Штаты | |
| iX-factory сейчас Micronit GmbH с 03/2016 | Индивидуальный дизайн и производство МЭМС | Кремний и SOI, боросиликатное стекло или кварц, структурированная пластина | Прототипирование и производство средних серий | 6, 8 | Чистая игра | Германия | |
| ООО «Наношифт» | Контрактные НИОКР и производство с большим опытом обработки и интеграции. Специализируется на МЭМС, микрофлюидике, кремниевой фотонике, TSV, интеграции CMOS и других новых технологиях. | Кремний, SOI, стекло, гибкие подложки, полимеры и другие материалы. | Подтверждение концепции, разработка процесса, прототипирование, от малого до среднего объема | 2, 3, 4 и 6 | IDM | Соединенные Штаты | |
| SCL | Разработка, производство и упаковка CMOS & MEMS; микротехнология | Кремний, КНИ и различные стекла | От мелкосерийного производства | 6,8 | Чистая игра |  Индия | |
| Картограф | Разработка и производство процессов МЭМС | Кремний, КНИ и различные стекла, пьезоэлектрические материалы | Малый объем и прототипирование | 4 | Чистая игра |  Россия | |
| Микрожидкостное литейное производство | Разработка и производство BioMEMS | Кремний, Стекло, SU8 / PDMS, Полимер | НИОКР, производство мини-серий | IDM | Соединенные Штаты | ||
| NaugaNeedles, LLC. (NN) | Литейное производство МЭМС, производство МЭМС | Стеклянные вафли, кварцевые вафли, кремниевые вафли, структурированные вафли, SOI-вафли и связующий материал. | Производство в больших объемах | 6 | Чистая игра | Соединенные Штаты | |
| nanoPHAB | Услуги по микро- и нано-изготовлению, производство нано-МЭМС, ASIC | Материалы III-V, GaAs, InP, Si, оксинитриды, стекло, полимеры, мультиматериалы | Эпи-рост, прототипирование и консультации. Производство от малых до средних объемов. Мост к большой громкости. | 2, 3, 4 | Чистая игра |  Нидерланды | |
| NEMS и MEMS Proto Fab (NMPF) | Производство МЭМС, услуги микротехнологии | Кремний, стекло, кварц, пластины SOI | От малого до среднего объема и прототипирования | 2, 4 | Чистая игра | Индия | |
| Philips Innovation Services | Индивидуальные МЭМС и микросборки, проектирование и производство, сертифицированные для медицинских устройств | Кремний, КНИ, стекло, кварц и КМОП-пластины. | Прототипирование, производство малых и средних объемов | 6, 8 | Чистая игра | Нидерланды | |
| Микроустройства Rogue Valley | Литейное производство MEMS и разработка / производство кремниевых пластин для микроэлектроники и биомедицины. Компания Rogue Valley Microdevices предлагает MEMS Foundry: макет фотошаблонов, изготовление устройств на сапфировых, кварцевых и керамических пластинах, изготовление MEMS на CMOS-пластинах, изготовление подвесных мембран, выравнивание спереди назад, шаговая литография I-Line, напыление фоторезиста, напыление драгоценных металлов и нанесение рисунка , Многослойные металлические пленки, включая припой Au / Sn, диэлектрические и резистивные материалы с реактивным напылением, осаждение диэлектрической пленки LPCVD и PECVD, протравливание кремния KOH и TMAH, обработка металлического отрыва, обработка полиамида | Прототипирование, пилотное производство, производство малых и средних объемов | 2, 4, 6, 8 | Чистая игра | Соединенные Штаты | ||
| Семефаб | Производство МЭМС | Производство в больших объемах | 4, 6 | Чистая игра |  объединенное Королевство | ||
| Sensera | Услуги МЭМС и микротехнологии | Прототипирование, малый, средний объем и переход к крупносерийному производству | 6; вспомогательные услуги микропроизводства | Чистая игра | Соединенные Штаты | ||
| Силекс Микросистемы | Разработка и производство процессов МЭМС | Кремний, КНИ, Стекло | Создание прототипов и массовое производство | 8 | Чистая игра |  Швеция | |
| СОНИ | Разработка и производство МЭМС | Кремний, КНИ | Создание прототипов и массовое производство | 6, 8 | IDM |  Япония | |
| STMicroelectronics | MEMS (включая акселерометры, гироскопы, цифровые компасы, инерциальные модули, датчики давления, датчики влажности и микрофоны) | Кремний | Производство в больших объемах | IDM | Швейцария | ||
| Теледайн ДАЛЬСА | Разработка и производство МЭМС с интеграцией индивидуальных литейных процессов | Кремний и поликремний | Производство в больших объемах | 6, 8 | Чистая игра |  Канада | |
| Teledyne Micralyne | Дизайн, производство и упаковка МЭМС; микротехнология | Кремний, КНИ и различные стекла | От масштабного до крупносерийного производства | 6 | Чистая игра | Канада | |
| Инструменты Техаса | Разработка и производство МЭМС | Кремний | Производство в больших объемах | IDM | Соединенные Штаты | ||
| Тауэр Джаз | Производство ИС | Кремний | Производство в больших объемах | 6, 8 | Чистая игра |  Израиль | |
| Tronics | Разработка и производство МЭМС | Кремний, КНИ и стеклянная пластина | Прототипирование, мелкосерийное и крупносерийное производство | 6 | Чистая игра | Франция Соединенные Штаты | |
| TSMC | Разработка и производство МЭМС | Кремний | Производство в больших объемах | 6, 8, 12 | Чистая игра | Тайвань | |
| uFluidix | Производство МЭМС и микрофлюидики | Кремний, стекло, ПДМС | Низко-средний объем производства | Чистая игра | Канада | ||
| UMC | Производство МЭМС | Кремний | Производство в больших объемах | 8 | Чистая игра | Тайвань | |
| Xfab | Разработка и производство МЭМС | Кремний и стекло | Производство в больших объемах | 6, 8 | Чистая игра | Германия | |
| MEMSCAP | Производство МЭМС | Массовая микрообработка: Кремний, КНИ Поверхностная микрообработка: Поликремний, нитрид, оксид, ПСГ Обработка толстого металла: Cu, Au, Ni и Pt | Прототипирование, производство в малых, средних и больших объемах | 6 | Чистая игра | Франция |