Мегазонская чистка - Megasonic cleaning

Мегазонская чистка это тип акустическая чистка, относится к ультразвуковая чистка. Это более щадящий механизм очистки, который с меньшей вероятностью может вызвать повреждение и используется при очистке пластин, медицинских имплантатов и промышленных деталей.

Подобно ультразвуковой очистке, мегасоника использует преобразователь который обычно сидит на пьезоэлектрический субстрат. Преобразователь создает акустическое поле на гораздо более высокой частоте (обычно 0,8–2 МГц) по сравнению с ультразвуковой очисткой (20–200 кГц). В результате кавитация это происходит более мягко и в гораздо меньшем масштабе. Мегазоники в настоящее время используются в основном в электронной промышленности для изготовления кремниевых пластин. [1]

Чистка Megasonics по сравнению с ультразвуковой чисткой

Разница между ультразвуковой очисткой и ультразвуковой очисткой заключается в частоте, которая используется для генерации акустических волн. Ультразвуковая очистка использует более низкие частоты; он производит случайную кавитацию. Очистка Megasonics использует более высокие частоты; он производит контролируемую кавитацию.

Важное различие между этими двумя методами состоит в том, что эффекты кавитации в мегазвуковой ванне гораздо менее разрушительны, чем эффекты, обнаруживаемые при использовании ультразвуковых частот. Это значительно снижает или устраняет кавитационную эрозию и вероятность повреждения поверхности очищаемого продукта. Части, которые могут быть повреждены ультразвуковыми частотами или эффектами кавитации, часто можно очистить без повреждений в мегазвуковой ванне с использованием того же раствора.

С помощью ультразвука кавитация происходит по всему резервуару, и все стороны погруженных деталей очищаются. При использовании мегазоники акустическая волна обнаруживается только на линии прямой видимости от поверхности преобразователя. По этой причине мегазвуковые преобразователи обычно строятся с использованием массивов квадратных или прямоугольных пьезоэлектрических устройств, прикрепленных к подложке и расположенных как можно ближе друг к другу. Полупроводниковые пластины обычно очищаются в держателях, удерживающих подложки перпендикулярно датчику, чтобы можно было очистить как переднюю, так и заднюю поверхности. Иногда используются специальные держатели, чтобы уменьшить любые препятствия, которые могут помешать очистке частей поверхности пластины. [1]

Сегодня для очистки отдельных пластин существуют не только резервуары Megasonic и пластины преобразователей, но и различные конфигурации. Например, так называемые системы Megasonic с одним или двумя соплами или преобразователи с одной пластиной. В этих конфигурациях одиночная пластина включает вращающийся инструмент, и Megasonics наносится сверху соплом (поток жидкости) или фронтальным преобразователем (частичная область, возбуждаемая мегазвуком).[2]

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ а б Барбара Канегсберг, Эдвард Канегсберг (редактор), Справочник по критической очистке: чистящие средства и системы, второе издание, CRC Press, 2011, ISBN  1439828288 стр.245-247
  2. ^ Holsteyns, F. et al (2008). Генерация пузырьков Ex situ, повышение скорости удаления частиц для процессов очистки одной пластины Megasonic. Явления твердого тела. 134. 201-204. 10.4028 / www.scientific.net / SSP.134.201.