Наноканальные стеклянные материалы - Nanochannel glass materials

Материалы наноканального стекла представляют собой сложные стеклянные структуры, содержащие большое количество параллельных полых каналов. Источник: Лаборатория военно-морских исследований - Офис трансфера технологий.

Наноканальные стеклянные материалы экспериментальные маска технология, которая является альтернативным методом изготовления наноструктуры, несмотря на то что оптическая литография является преобладающей техникой создания рисунка.[1]

Материалы наноканального стекла сложное стекло конструкции, содержащие большое количество параллельных полых каналов. В простейшем виде полые каналы расположены в геометрические массивы с плотностью упаковки до 1011 каналов / см2. Размеры канала регулируются от микрометров до десятков нанометров, при этом сохраняется отличная однородность канала. Точные копии стекла канала могут быть изготовлены из самых разных материалов. Это недорогой метод для создания большого количества идентичных структур с наноразмерными элементами.[2][3]

Характеристики

Эти материалы имеют высокую плотность однородных каналов диаметром от 15 микрометров до 15 нанометров. Это жесткие конструкции с температурой эксплуатации не менее 300 ° C, с потенциалом до 1000 ° C. Кроме того, это оптически прозрачные фотонные структуры с высокой степенью воспроизводимости.

Приложения

Их можно использовать как материал для хроматографические колонки, однонаправленный проводники, Микроканальная пластина и нелинейно-оптические устройства. Другое использование в качестве масок для полупроводник разработка, включая ионную имплантацию, оптическую литографию и реактивное ионное травление.[2][3][4]

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Гимзевски, Джеймс К; Welland, M.E, eds. (Май 1995 г.). Конечные пределы изготовления и измерения. Springer. С. 13, 14, 15. ISBN  978-0-7923-3504-7. * Материалы Семинара перспективных исследований НАТО, Кембридж, Великобритания, 1--3 апреля 1994 г. Серия: НАТО Science Series E: (закрыто), Vol. 292
  2. ^ а б «Наноканальные стеклянные материалы». Лаборатория военно-морских исследований. Офис трансфера технологий, код 1004. Получено 2011-07-04.
  3. ^ а б Тонуччи, Рональд Дж .; Хаблер, Грэм К. (2007). "Характеристики материалов и методы нанопроизводства - материалы наноканального стекла". В Сибилии, Кончита; Вирсма, Дидерик С. (ред.). Материалы конференции AIP. 959. С. 59–71. Дои:10.1063/1.2821605. ISBN  978-0-7354-0473-1.
  4. ^ Пирсон, Д. Х .; Тонуччи, Р. Дж. (1995). "Наноканальные стеклянные реплики мембран". Наука. 270 (5233): 68–70. Bibcode:1995Научный ... 270 ... 68С. Дои:10.1126 / science.270.5233.68.

дальнейшее чтение