Репутация - Resputtering - Wikipedia

Репутация включает повторную эмиссию материала, например SiO₂, депонированный распыление вовремя отложение.^[1] Как и при распылении, повторное излучение вызывается ионной бомбардировкой осажденного материала. Методика повторного прохождения впервые была опубликована Л.И. Maissel et al. в Журнал прикладной физики (Январь 1965 г., стр. 237) и был назван Предвзятое распыление.^[2]

Рекомендации

^ Gregoire, J.M .; Лобовский, М.Б .; Heinz, M. F .; DiSalvo, F.J .; ван Довер, Р. Б. (26 ноября 2007 г.). «Репрезентативные явления и определение состава в соосажденных фильмах». Физический обзор B. 76 (19): 195437. Bibcode:2007ПхРвБ..76с5437Г. Дои:10.1103 / PhysRevB.76.195437.
^ Кестер, Дэниел Дж .; Мессье, Рассел (NaN). «Макроэффекты перераспределения при бомбардировке отрицательными ионами растущих тонких пленок». Журнал материаловедения. 8 (8): 1928–1937. Bibcode:1993JMatR ... 8.1928K. Дои:10.1557 / JMR.1993.1928. ISSN 2044-5326. Получено 24 октября 2019. Проверить значения даты в: | дата = (помощь)

Эта статья о технологиях заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это.

[1] Gregoire, J.M .; Лобовский, М.Б .; Heinz, M. F .; DiSalvo, F.J .; ван Довер, Р. Б. (26 ноября 2007 г.). «Репрезентативные явления и определение состава в соосажденных фильмах». Физический обзор B. 76 (19): 195437. Bibcode:2007ПхРвБ..76с5437Г. Дои:10.1103 / PhysRevB.76.195437.

[2] Кестер, Дэниел Дж .; Мессье, Рассел (NaN). «Макроэффекты перераспределения при бомбардировке отрицательными ионами растущих тонких пленок». Журнал материаловедения. 8 (8): 1928–1937. Bibcode:1993JMatR ... 8.1928K. Дои:10.1557 / JMR.1993.1928. ISSN 2044-5326. Получено 24 октября 2019. Проверить значения даты в: | дата = (помощь)

[1]

[2]