Роджер Т. Хау - Roger T. Howe

Роджер Т. Хау
Professor-Roger-Howe.jpg
Родившийся1957
Сакраменто, Калифорния, НАС.
НациональностьАмериканец
Альма-матерКолледж Харви Мадда
Калифорнийский университет в Беркли
ИзвестенМЭМС; наноразмерные устройства; технология изготовления
НаградыНациональная инженерная академия член
Научная карьера
ПоляЭлектротехника
УчрежденияСтэндфордский Университет
ТезисИнтегрированный электромеханический датчик пара, 1984 г.
ДокторантРичард С. Мюллер (Калифорнийский университет в Беркли)

Роджер Томас Хоу (родился в 1957 г. Сакраменто, Калифорния ) - профессор электротехники Уильяма Э. Айера вСтэндфордский Университет. Он получил степень бакалавра наук. степень по физике от Колледж Харви Мадда (Клермонт, Калифорния ) и М. и к.т.н. степени в области электротехники отКалифорнийский университет в Беркли в 1981 и 1984 годах соответственно. Он был преподавателем в Университет Карнеги Меллон в 1984-1985 гг.Массачусетский Институт Технологий с 1985 по 1987 год и в Калифорнийском университете в Беркли с 1987 по 2005 год, где он был Заслуженным профессором Роберта С. Пеппера. С 2005 года он является членом факультета инженерной школы Стэнфорда.

Его исследовательские интересы - микро и наноэлектромеханические системы (M / NEMS) проектирование и изготовление. Он и его доктор философии. Консультант Ричард С. Мюллер из Беркли разработал технологию микрообработки поверхности поликремния.[1][2] Этот процесс открыл возможности микромеханических элементов, таких как кантилеверы, резонаторы и шестерни. В настоящее время он используется для производства миллиардов инерциальных датчиков. [3][4],[5] микрофоны,[6] и устройства времени.[7] Технология микромеханической обработки поликремния все еще разрабатывается для достижения более эффективных датчиков.[8] Вместе со своим доктором философии. ученик, Уильям К. Танг, он стал соавтором электростатического гребенчатого привода,[9][10] который является ключевым строительным блоком для микросенсоров и исполнительных механизмов. Со своим бывшим коллегой Цу-Джэ Кинг Лю и их учениками была разработана технология низкотемпературной микрообработки поликристаллического кремния и германия, которая может быть изготовлена ​​после стандартной КМОП-электроники.[11] С момента прихода в Стэнфорд он внес свой вклад в создание устройств термоэлектронного преобразования энергии.[12] электронные биомолекулярные сенсоры широкого спектра действия.[13]

Он был избран Сотрудник IEEE в 1996 году за «плодотворный вклад в технологии, устройства и микроэлектромеханические системы для микротехнологий». Вместе с Ричардом С. Мюллером он был сореципиентом конкурса 1998 г. Премия IEEE Cledo Brunetti. В 2005 году он был избран в США. Национальная инженерная академия: «За вклад в развитие микроэлектромеханических систем в процессах, устройствах и системах». В 2015 году он и Ю-Чонг Тай были соучредителями Премия Роберта Боша в области микро- и наноэлектромеханических систем Общества электронных устройств IEEE. В 2015 году он также был получателем Образовательная награда IEEE Electron Devices Society, «За вклад в наставничество и обучение в области микроэлектромеханических систем и нанотехнологий». Он является соавтором учебника по электронике «Микроэлектроника: комплексный подход с Чарльз Дж. Содини Массачусетского технологического института.[14]

С 2011 по 2015 год он был директором Национальной сети нанотехнологической инфраструктуры США (NNIN), а с 2009 по 2017 год он занимал должность директора факультета Стэнфордский завод нанотехнологий (SNF).[15]

Он стал соучредителем двух компаний на основе исследований, проведенных в его группе. Silicon Clocks, Inc. была основана в 2004 году и была приобретена Silicon Labs, Inc. в 2010 году. ProbiusDx, Inc. была основана в декабре 2015 года с целью коммерциализации электронного биомолекулярного датчика широкого спектра действия.[16]

Рекомендации

  1. ^ Р. Т. Хоу и Р. С. Мюллер, «Микромеханические балки из поликристаллического кремния», Весеннее собрание Электрохимического общества, вып. 82-1, Монреаль, Квебек, Канада, 9–14 мая 1982 г., стр. 184–185.
  2. ^ Р. Т. Хоу и Р. С. Мюллер, «Микромеханические пучки из поликристаллического кремния», Журнал Электрохимического общества, 130, стр. 1420-1423 (1983).
  3. ^ http://www.analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/ADXL335.pdf (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
  4. ^ https://www.bosch-mobility-solutions.com/en/products-and-services/industry-elements-and-components/mems-sensors/ (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
  5. ^ https://www.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/mems.html (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
  6. ^ https://www.knowles.com/subdepartment/dpt-microphones/subdpt-sisonic-surface-mount-mems
  7. ^ Дж. Классен и др., «Усовершенствованный процесс поверхностной микрообработки - первый шаг к 3D МЭМС», Конференция IEEE MEMS, Лас-Вегас, Невада, США, стр. 314-318, 22-26 января 2017 г.
  8. ^ Э. Нг и другие, «Длинный путь от резонаторов МЭМС к устройствам синхронизации», Конференция IEEE MEMS, Эшторил, Португалия, стр. 1-2, 18-22 января 2015 г.
  9. ^ У. К. Танг и Р. Т. Хоу, "Боковые резонансные микроструктуры", Патент США № 5025346, 18 июня 1991 г.
  10. ^ W. C. Tang, T.-C. Х. Нгуен и Р. Т. Хоу, «Резонансные микроструктуры из поликремния с боковым приводом», Датчики и исполнительные механизмы, 20, стр. 25-32 (1989).
  11. ^ А. Е. Франке, Дж. М. Хек, Т. Кинг Лю и Р. Т. Хоу, «Поликристаллические кремний-германиевые пленки для интегрированных микросистем», J. Microelectromechanical Systems, 12, стр. 160-171, (2003).
  12. ^ Ж.-Х. Ли и др. «Микро-изготовленный термоизолированный эмиттер с низкой рабочей функцией», J. Microelectromechanical Systems, 23, стр. 1182-1187 (2014).
  13. ^ К. Гупта и другие, «Квантовые туннельные токи в электрохимической системе, созданной с помощью нанотехнологий», Journal of Physical Chemistry C, 121, стр. 15085–15105 (2017).
  14. ^ Р. Т. Хоу и К. Г. Содини, Микроэлектроника: комплексный подход, Прентис Холл, 1997 г.
  15. ^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe
  16. ^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe

внешняя ссылка