Нано-PSI - Nano-PSI
Нано-PSI это плазменный аппарат от компании Differ - Голландский институт фундаментальных энергетических исследований ("ДИФФЕР".) исследовательский институт в Эйндховене. Используется для экспериментальных исследований на стыке физика плазмы и материаловедение. «PSI» означает взаимодействие с поверхностью плазмы, а «нано» было выбрано, чтобы подчеркнуть миссию устройства по синтезу различных наноструктуры. Nano-PSI принадлежит к семейству плазменных генераторов компании DIFFER, в котором также находятся линейные устройства Magnum-PSI и UPP-PSI.
Плазма создается Каскадный источник плазменной дуги,[1] который выходит в сферический вакуумный сосуд. Такие газы как Гелий, Водород, Азот, Аргон, Ксенон можно использовать для создания плазмы. Образцы устанавливаются в прямой видимости плазмы. Частицы плазмы взаимодействуют с атомами образца, что приводит к модификации поверхности. Обычно этот процесс называется плазменная обработка.
А Зонд Ленгмюра может использоваться для определения параметров плазмы, таких как плотность и температура. Держатель подложки может иметь электрическое смещение для притяжения желаемого количества ионов или электронов. Кроме того, можно использовать нагретый держатель мишени или охлаждаемый держатель мишени для установки образца при заданной температуре во время работы. Большие переходные тепловые потоки могут быть созданы, когда источник плазмы соединен с батареей конденсаторов.
Смотрите также
- Химическое осаждение из паровой фазы
- Импульсное лазерное напыление
- Газоразрядная плазма и их приложения.[2]
- Полупроводник изготовление; Химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением
- Национальный эксперимент со сферическим тором в термоядерная реакция
Рекомендации
- ^ Kroesen, G.M.W .; Schram, D.C., de Haas, J.C.M. (1990). «Описание каскадно-дуговой плазмы» (PDF). Плазмахимия и обработка плазмы. 10 (4): 531–551 - через alexandria.tue.nl (бесплатный репозиторий статей).CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь)
- ^ Богертс, А .; Нейтс, Э .; Gijbels, R .; ван дер Маллен, Дж. (2002). «Газоразрядная плазма и их применение» (PDF). Spectrochimica Acta. Часть Б. 57: 609–658. Архивировано из оригинал (PDF) на 27 сентября 2004 г.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь)
дальнейшее чтение
- де Теммермана, Грегори; Быстров, Кирилл; Зелински, Якуб Дж. (27 июня 2012 г.). «Наноструктурирование поверхностей молибдена и вольфрама ионами гелия низкой энергии». Журнал вакуумной науки и технологий A. 30 (4): 041306. Дои:10.1116/1.4731196.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь)
- Райт (2012). «Рост вольфрамового пуха» (PDF). PSI. Массачусетский Институт Технологий.
- Харамилло (2010). «Наноструктурированные MoS2 и WS2 для солнечного производства водорода» (PDF). Пало-Альто, Калифорния: Stanford U.
- Лабель, Андре (июнь 2011 г.). Влияние гелия на удержание дейтерия в вольфраме при одновременном облучении (PDF) (Дипломная работа). Канада: Университет Торонто.