Плазменная обработка - Plasma processing - Wikipedia
 | Эта статья не цитировать любой источники. (Декабрь 2009 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения) |
Плазменная обработка это плазма технология обработки материалов, направленная на изменение химических и физических свойств поверхности.
Методы плазменной обработки включают:
- Активация плазмы
- Плазменное озоление
- Плазменная очистка
- Плазменное электролитическое окисление
- Плазменное травление
- Функционализация плазмы
- Плазменная полимеризация
- Корона лечение
- Плазменная модификация
Связанные темы плазмохимия, химическое осаждение из паровой фазы, и физическое осаждение из паровой фазы такие процессы как напыление, плазменное ионное легирование, вакуумное плазменное напыление, и реактивное ионное травление.