Сканирующий гелиевый ионный микроскоп - Scanning helium ion microscope

Гелиевый ионный микроскоп Orion Nanofab от Микроскопы Zeiss
Сравнение изображений эмали мышей с помощью SEM (вверху) и SHIM (внизу). Изображения SHIM имеют превосходное глубина резкости, показывая внутреннюю структуру в туннелях эмали, которая проявляется в виде черных пятен на изображениях, полученных с помощью SEM.[1]

А сканирующий гелиевый ионный микроскоп (ШИМ, HeIM или же ЕМУ) - это технология визуализации, основанная на сканировании гелий ионный пучок.[2] Подобно другим сфокусированный ионный пучок методы, это позволяет сочетать фрезерование и резку образцов с их наблюдением с субнанометровым разрешением.[3]

Что касается визуализации, SHIM имеет несколько преимуществ перед традиционными растровый электронный микроскоп (SEM). Благодаря очень высокой яркости источника и короткому Длина волны де Бройля ионов гелия, который обратно пропорционален их импульсу, можно получить качественные данные, недостижимые с помощью обычных микроскопы которые используют фотоны или же электроны в качестве источника излучения. Поскольку пучок ионов гелия взаимодействует с образцом, он не страдает от большого объема возбуждения и, следовательно, обеспечивает резкие изображения с большим глубина резкости на широком спектре материалов. По сравнению с SEM, выход вторичных электронов довольно высок, что позволяет получать изображения с токами всего 1 фемтоамп. Детекторы обеспечивают насыщенные информацией изображения, которые показывают топографические, материальные, кристаллографические и электрические свойства образца. В отличие от других ионных пучков, в образце нет заметного повреждения из-за относительно небольшой массы иона гелия. Недостаток - стоимость.

SHIM коммерчески доступны с 2007 года,[4] и разрешение поверхности 0,24 нанометры был продемонстрирован.[5][6]

Рекомендации

  1. ^ Bidlack, Felicitas B .; Huynh, Chuong; Маршман, Джеффри; Гетце, Бернхард (2014). «Гелиевая ионная микроскопия кристаллитов эмали и внеклеточного матрикса эмали зубов». Границы физиологии. 5. Дои:10.3389 / fphys.2014.00395. ЧВК  4193210. PMID  25346697.
  2. ^ Пресс-релиз NanoTechWire.com: Корпорация ALIS объявляет о прорыве в гелий-ионной технологии для атомного микроскопа следующего поколения, 7 декабря 2005 г. (проверено 22 ноября 2008 г.)
  3. ^ Ибери, Вайтер; Влассюк, Иван; Zhang, X.-G .; Матола, Брэд; Линн, Эллисон; Джой, Дэвид К .; Рондиноне, Адам Дж. (2015). «Безмасочная литография и визуализация проводимости графена in situ с использованием гелий-ионной микроскопии». Научные отчеты. 5: 11952. Дои:10.1038 / srep11952. ЧВК  4493665. PMID  26150202.
  4. ^ Пресс-релиз Carl Zeiss SMT: Carl Zeiss SMT отправляет первый в мире гелий-ионный микроскоп ORION Национальному институту стандартов и технологий США, 17 июля 2008 г. (проверено 22 ноября 2008 г.)
  5. ^ Fabtech.org: Рекордное разрешение микроскопии заявлено Carl Zeiss, 21 ноября 2008 г. (проверено 22 ноября 2008 г.)
  6. ^ Пресс-релиз Carl Zeiss SMT: Carl Zeiss установила новый мировой рекорд в разрешении микроскопии с помощью сканирующих ионов гелия В архиве 1 мая 2009 г. Wayback Machine, 21 ноября 2008 г. (проверено 22 ноября 2008 г.)

внешняя ссылка