Туомо Сунтола - Tuomo Suntola

Туомо Сунтола
Туомо Сунтола получил премию Millennium Technology Prize 2018.jpg
Родившийся1943
Тампере, Финляндия
НациональностьФинляндия
Альма-матерХельсинкский технологический университет
ИзвестенОсаждение атомного слоя
НаградыОрден льва Финляндии - Рыцарь 1-го класса, European SEMI Award 2004, Премия тысячелетия в области технологий 2018
Научная карьера
ПоляМатериаловедение

Туомо Сунтола (1943 г.р.) - финский физик, изобретатель и технолог. Он наиболее известен своими новаторскими исследованиями в области материаловедения, разработав технику выращивания тонких пленок под названием осаждение атомного слоя.

Ранние годы

Сунтола родился в Тампере, Пирканмаа, в 1943 г., во время Продолжение войны. Он рано проявил интерес к технологиям, создав деревянные копии самолетов Второй мировой войны. В подростковом возрасте его интересы расширились, и он перешел на радио и усилители.[1]

Обучение и карьера

В 1971 году Туомо Сунтола получил докторскую степень по физике полупроводников в Хельсинкский технологический университет. После получения докторской степени Сунтола сделал свою первую промышленную разработку, работая в Центр технических исследований Финляндии VTT, тонкопленочный датчик влажности «Гумикап» для Vaisala Oy, финская компания, специализирующаяся на метеорологических приборах.

В 1974 году Suntola начала разработку тонкопленочных электролюминесцентных дисплеев в финской компании Instrumentarium Oy. Он представил атомно-слойная эпитаксия (ALE) технология, в настоящее время известная как осаждение атомного слоя (ALD), как решение для производства электролюминесцентных устройств, требующих тонких пленок с очень высокой диэлектрической прочностью.[2] Эта технология была внедрена в промышленное производство электролюминесцентных устройств в середине 1980-х годов корпорацией Lohja в Финляндии.[3] Осаждение атомных слоев позже стало одним из ключевых производственных технологий в изготовление полупроводниковых приборов.

В 1987 году Suntola основала Microchemistry Ltd как дочернюю компанию национальной нефтяной компании. Neste Oy применить технологию ALD к новым областям применения, таким как тонкопленочные фотоэлектрические устройства, гетерогенные катализаторы и, что наиболее важно, к полупроводниковым устройствам. В 1998 году компания Microchemistry Ltd. и технология ALD были проданы голландской ASM International, крупный поставщик оборудования для производства полупроводников; Microchemistry Ltd. стала ASM Microchemistry Oy как финская дочерняя компания ASM. В 1997 году, до приобретения Microchemistry Ltd, Сунтола начал работать научным сотрудником в национальной энергетической компании. Fortum Корпорация, созданная путем слияния Neste Corporation и национальной электроэнергетической компании. Деятельность Suntola в Fortum был ориентирован на возобновляемые источники энергии и передовые энергетические технологии. Он ушел из Fortum в 2004 году, но продолжает работать в качестве члена совета директоров Picosun Oy, финского производителя реакторов ALD.

Доктор Сунтола имеет много важных патентов на технологию ALD и тонкопленочные устройства. На протяжении всей своей производственной карьеры д-р Сунтола поддерживал тесные контакты с академическим сообществом. В 1970-х годах он читал лекции по физике полупроводников в Технологический университет Тампере. Еще со студенческих лет интересовался философией науки и основами физики. После фундаментального прорыва в 1995 году он работал над целостным взглядом на физическую реальность, именуемым Динамическая вселенная. В своей книге Краткая история науки Сунтола прослеживает развитие научной картины действительности от античности до наших дней.

Доктор Сунтола - один из основателей Общество фондов физики посвященный поиску более глубокого понимания физической реальности. С 2015 года он также является председателем Финское общество естественной философии.

Награды

В 2004 году Suntola получила европейскую премию SEMI. "В честь пионера в методах осаждения атомных слоев … который проложил путь для разработки полупроводниковых устройств нанометрового масштаба ".[3]

В 2018 году Suntola выиграла финскую Премия тысячелетия в области технологий за его вклад в развитие информационных технологий на основе "Чрезвычайно тонкие изолирующие или проводящие пленки, необходимые для микропроцессоров и компьютерных запоминающих устройств, могут быть изготовлены только с использованием технологии ALD, разработанной Туомо Сунтола."[4] 74-летний футболист получил один миллион евро (1,18 миллиона долларов). Его технология используется для производства ультратонких слоев материала для различных устройств, таких как компьютеры, смартфоны, микропроцессоры и цифровой запоминающие устройства, обеспечивая высокую производительность при небольшом размере[5].

Известные публикации

  • Т. Сунтола, "О механизме эффектов переключения в тонких пленках халькогенидов", Твердотельная электроника, 1971, Vol. 14. С. 933–938.
  • 1972-11-12 / 1979-08-21, US 4,164,868 Suntola, Емкостный датчик влажности
  • 1974-11-29 / 1977-11-15, US 4,058,430 Suntola, Antson, Способ получения сложных тонких пленок
  • 1979-02-28 / 1983-11-01, США 4 413 022 Сунтола, Паккала, Линдфорс, Метод выращивания сложных тонких пленок
  • 1980-08-20 / 1983-06-14, US 4,388,554 Suntola, Antson, Электролюминесцентный компонент дисплея
  • Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Tech. Дайджест ICVGE-5, Сан-Диего, 1981 г.
  • T. Suntola, J. Hyvärinen, "Atomic Layer Epitaxy", Annu. Rev. Mater. Sci. 15 (1985) 177
  • 1985-03-05 / 1990-03-13, US 4,907,862 Suntola, Метод создания управляемых электронным способом цветных элементов и цветного дисплея на основе этого метода
  • Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Отчеты по материаловедению, том 4, номер 7, декабрь 1989 г., 0920-2307 / 89, Elsevier Science Publishers B.V.
  • 1990-01-16 / 2003-03-18, US 6,534,431 Suntola et al., Процесс и устройство для приготовления гетерогенных катализаторов
  • 1991-07-16 / 2002-12-31, US 6,500,780 Suntola et al., Метод приготовления гетерогенных катализаторов с желаемым содержанием металла
  • Т. Сунтола, "Тонкопленочные солнечные элементы из CdTe", Бюллетень MRS, Vol. XVIII, № 10, 1993 г.
  • Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Справочник по росту кристаллов 3, тонкие пленки и эпитаксия, часть B: механизмы и динамика роста, глава 14, издательство Elsevier Science Publishers B.V., 1994.
  • С. Хаукка, Э.-Л. Лакомаа, Т. Сунтола, "Получение гетерогенных катализаторов с контролем адсорбции", Адсорбция и ее применение в промышленности и охране окружающей среды, изд. А.Дабровски, издательство Elsevier Science Publishers B.V., 1998.
  • Туомо Сунтола, Краткая история науки - или долгий путь к союзу метафизики и эмпиризма, Сентябрь 2018 ISBN  978-952-68101-0-2
  • Р. Л. Пуурунен, Х. Каттелус, Т. Сунтола, "Нанесение атомных слоев в технологии МЭМС", гл. 26 Справочника по материалам и технологиям МЭМС на основе кремния / Под ред. V. Lindroos et al. , стр. 433–446, Elsevier, 2010.
  • Туомо Сунтола, Динамическая Вселенная - К единой картине физической реальности, Четвертое издание, Сентябрь 2018, ISBN  978-1461027034.

Рекомендации

  1. ^ «Пионер ALD Туомо Сунтола объясняет, как его изобретение поддерживает закон Мура». 2019-03-28. Получено 2020-05-25.
  2. ^ Ахвенниеми, Эско; Акбашев Андрей Р .; Али, Сайма; Бечеланы, Михаэль; Бердова Мария; Бояджиев, Стефан; Кэмерон, Дэвид Ч .; Чен, Ронг; Чубаров, Михаил (2016-12-16). Обзорная статья: рекомендуемый список для чтения ранних публикаций по осаждению атомных слоев - результат «виртуального проекта по истории ALD»"". Журнал вакуумной науки и технологий A: вакуум, поверхности и пленки. 35 (1): 010801. Дои:10.1116/1.4971389. ISSN  0734-2101.
  3. ^ а б Пуурунен, Р. Л. (2014). "Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола". Химическое осаждение из паровой фазы. 20 (10–11–12): 332–344. Дои:10.1002 / cvde.201402012.
  4. ^ «Премия тысячелетия в области технологий 2018 для Туомо Сунтола - инновации финского физика позволяют производить и разрабатывать продукты в области информационных технологий» (Пресс-релиз). Технологическая академия Финляндии. 2018-05-22. Получено 2018-05-22.
  5. ^ «Техническая 'Нобель' присуждена финскому физику за небольшие интеллектуальные устройства» Phys.org, 22 мая 2018 г.

внешняя ссылка