Полицид - Polycide

Полицид это силицид сформированный над поликремний. Широко используется в DRAM. В полициде МОП-транзистор транзистор В процессе силицид образуется только на пленке поликремния, так как образование происходит до любого травления поликремния. Полицидные процессы контрастируют с салицид процессы, в которых силицид образуется после травления поликремния. Таким образом, при салицидном процессе силицид образуется как над поликремниевым затвором, так и над открытыми монокристаллическими контактными областями транзистора в самодостаточный мода.